TY  - BOOK
AU  - Brodie, Ivor.
TI  - The physics of microfabrication / 
SN  - 0306-40863-5
U1  - D65 
PY  - 1982///
CY  - New York : 
PB  - Plenum Press , 
KW  - Micrfabrication
ER  -